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我国亚微米微电子技术取得突破权衡

可从事部分广播电视节目生产制作和传输。这即是广电、电信双向进入的核心所在。 日前,国家微分析中心在亚微米集成电路分析技术研究领域取得突破性进展。由于微电子产业在整个国民经济发展中所处的重要战略地位,该技术将拥有广阔的应用前景。

此次,复旦大学的王家楫教授等人员研发的“亚微米集成电路分析技术”是一项发展亚微米微电子技术的关键性技术。他们采用了电子束、离子束、激光束和X光等近代分析技术,对亚微米集成电路所用的材料、制造工艺和器件进行几亿分之一的微量杂质的分析,目前世界上仅有少数电子工业发达的国家掌握了该技术。

该项目在开展亚微米集成电路剖析技术研究的同时,积极推广其在亚微米集成电路材料分析、工艺诊断和器件剖析等方面的应用,近三年共为上海硅材料厂、上海贝岭、深圳国微等20多家企业完成多项IC新产品开发和引进技术等应用项目,分析各种样品近6,000个,使这些企业新增产值达7.6亿人民币。

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